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工程設備

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  • エッチング(内層)

    メッキ室

    エッチング(etching)
    化学的に金属を溶解すること。
    【用語】塩化第二鉄エッチング液(ferric chloride etchant)
    エッチング速度が大きく、また粘性が大きいのでエッチングの精度に優れています。リサイクルが可能です。
    【用語】塩化第二銅エッチング液(cupric chloride etchant)
    塩化第二鉄液に比べ、エッチング速度が小さく、粘度が低いので、サイドエッチング(※寸法より小さくなる)が起きやすいです。
    【用語】アルカリエッチャント(alkaline etchant)
    有機レジストの他、錫、はんだやニッケルなども溶解しないです。

    エッチング

    剥離(stripping)
    エッチングして、導体パターンが完成した後は、エッチングレジスト(※部分的保護マスク)は不要になるので、剥離して銅泊のパターンとします。

    剥離

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