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工程設備

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  • パターンニング(内層)

    プレス室

    内層銅張積層板
    コア材(core material)

    内層銅張積層板

    基準穴加工
    X線穴あけ機でコア材にDI用の基準(アライメントマーク)穴をあけます。

    基準穴加工

    現像室

    整面(surface cleaning and conditioning)
    規定の大きさに切断された板はドライフィルムの密着性を向上させるために汚れを落とします。
    【解説】整面・バフ研磨工程
    バフ(研磨)が上下 → 洗浄(中圧 → 低圧 → 親水部) → 吸水ロール → エアーブロー → ヒーターブロー
    【解説】整面・化学研磨工程
    水洗 → ソフトエッチング → 水洗(3回) → 絞り → エアースリット → 乾燥

    整面


    整面

    クリーンルーム

    空気の清浄度が確保された部屋で、塵・埃・ゴミの発生はタブーです。

    感光性ドライフィルム
    オートラミネートカッターでポリエチレンフィルムを剥がしながら熱ロールで圧着します。

    感光性ドライフィルム

    露光(exposure)
    フィルムと基材を密着させ、紫外線で露光します。
    光源は点光源と平行光源があります。
    【解説】フィルムマッチングデスク+半自動露光機
    フィルムマッチングデスクでフィルムと基材の位置合わせを行い、半自動露光機で焼付を行います。
    【解説】自動整合露光機
    上記にある装置を1つに組み合わせた装置です。CCDカメラで位置決めをし、平行光光源で焼付を行います。
    【解説】ダイレクト露光装置
    フォトマスクなしで、データから直接描画できる装置です。
    【用語】点光源(point light source)
    光源が一点。
    基板の部分によっては光が斜めに入り込み「ズレ」が生じることがあります。
    【用語】平行光源
    フライアイレンズと呼ばれる特殊なレンズと放物面鏡を組み合わせて、基板のどの部分にも光線が垂直に入るように設計されています。ファインパターンを作成することができます。

    露光

    現像室

    現像(development)
    露光工程で形成した潜像(肉眼では見えない)を顕像(肉眼で見える)とする工程です。

    現像

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