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工程設備

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  • レジスト

    現像室

    整面(surface cleaning and conditioning)
     

    ゴミ取りローラー
     
    塗布
    【解説】水平式連続両面スプレーコータ
    液状のレジストインクをエアー霧化式スプレーにより、搬送方向と直交する軸上をスキャニングしながらコーティングする装置です。表面塗布後は、自動的に基板を反転させ裏面も塗布します。

    塗布

    【用語】スプレーコータ(spray coater)
    レジストインクを霧状にして塗布する装置です。
    【用語】スプレーコート法(spray coating method)
    塗りむらがなく薄くて均一な塗面が形成できます。

    塗布

    乾燥室

    仮乾燥
    液状のレジストインクを半硬化させます。

    クリーンルーム

    露光(exposure)
    フィルムと密着させ、紫外線で露光します。

    露光

    現像室

    現像(development)
    現像 → 水洗 → 乾燥
    アルカリ性水溶液で溶解します。

    現像

    乾燥室

    本乾燥
    加熱により完全に硬化させます。

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